Exakt positioniert - die neue ABRX-Baureihe von Aerotech

03. März 2021
Neue Aerotech-Baureihe ABRX
Die luftgelagerten rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250mm eignen sich besonders für Oberflächenvermessung im Nanometerbereich und auch als Erweiterung für die SMP-Messplattform.
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Aerotech, Hersteller leistungsstarker Motion-Control- und Positioniersysteme, präsentiert mit den ABRX High-Performance Air-Bearing Stages eine neue Generation luftgelagerter Rotationtische. Um maximale Nutzlast- und Formfaktoranforderungen für den Einsatz als einachsiger Positionierer, als Teil eines integrierten Systems oder auch einer integrierten Maschine zu erfüllen, stehen verschiedene ABRX-Rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250mm zur Verfügung. Somit eignen sie sich besonders für maximale Anforderungen in den Bereichen Wafer-Inspektion, Hochpräzisions-Messtechnik, optische Inspektion und Fertigung sowie MEMS/Nanotechnologie-Geräteherstellung. Aerotech nimmt vom 4.-7. Mai 2021 in Stuttgart an der Internationalen Fachmesse für Qualitätssicherung Control teil (Halle 5, Stand 5218).

„Der Markt erfordert immer strengere Leistungsspezifikationen und bisher gibt es nur sehr wenige Lösungen, die auch extremen Anforderungen an Genauigkeit gerecht werden“, weiß Norbert Ludwig, Geschäftsführer der Aerotech GmbH in Fürth. Entweder reiche die Präzision von bspw. mechanisch gelagerten Drehtischen nicht aus, oder die verfügbaren Lösungen seien sehr teuer und bestimmt durch einen großen Formfaktor, der es wiederum schwierig macht, sie in mehrachsige Bewegungsplattformen oder Maschinen zu integrieren. „Anwender unterschiedlichster Branchen, die ein Höchstmaß an Präzision benötigen, unterstützen wir ab sofort mit unseren neuentwickelten, luftgelagerten ABRX-Rotationsachsen. Die großen Luftlagerflächen weisen eine deutliche bessere Ablaufgenauigkeit als mechanische oder andere verfügbare luftgelagerte Drehtische auf, was nicht zuletzt Anwendungen zugutekommt, die eine außergewöhnliche Ebenheit der Bewegung erfordern. Auch in Bezug auf Winkelgenauigkeit, Tragfähigkeit und off-axis Fehlerbewegungen übertreffen wir mit ABRX sämtliche bis dato erhältliche Drehversteller auf dem Markt.“

Norbert Ludwig, Geschäftsführer bei der Aerotech GmbH

Weltweit präziseste Familie luftgelagerter Rotationstische

Bei der neuen ABRX-Baureihe handelt es sich um Drehtische, die direkt betrieben werden und dadurch Rotationsgeschwindigkeiten von bis zu 300 rpm erreichen können. Eine weitere Besonderheit sind die Luftlager zur Minimierung von radialen und axialen Fehlern, die in einem Bereich von weniger als 25 nm liegen. Die Fehler lassen sich dabei in synchrone und asynchrone Fehler unterscheiden: Synchron sind die Fehler, die periodisch mit der Achsdrehung auftreten. Hier haben Anwender die Möglichkeit, die Abweichung zu vermessen, abzuspeichern und dann über eine Z-Achse in axialer Richtung oder X-Achse in radialer Richtung zu kompensieren bzw. die Messwerte entsprechend zu korrigieren. Asynchrone Fehler sind hingegen mehr als Positionsrauschen zu betrachten und können nicht ohne weiteres kompensiert werden. Durch die Kompensation der Synchronfehler lassen sich die radialen und axialen Fehler allerdings deutlich unter 10nm herabsenken. So eignet sich die ABRX-Baureihe besonders für Oberflächenvermessungen im Nanometerbereich und natürlich auch als Erweiterung für die bewährte Aerotech-SMP-Messplattform.

Wettbewerbsvorteile durch erhöhten Durchsatz und verbesserte Ausgabequalität

„Mit dem ABRX erreichen unsere Anwender die maximale Positionierungsleistung, die sie für ihre Prozesse benötigen, um einen Wettbewerbsvorteil in ihren jeweiligen Märkten zu erzielen“, betont Aerotech-Geschäftsführer Norbert Ludwig. Über die luftgelagerten Rotationsachsen lassen sich parasitäre Fehlerbewegungen weitestgehend minimieren, sodass eine höchstmögliche Produktionsqualität ohne umfangreiche Nachbearbeitungen erzielt werden kann. Weniger Fehlerbewegungen führen auch zu deutlich weniger Unsicherheiten und Schwankungen im Prozess. „Anwender profitieren auf diese Weise von einer nachhaltig verbesserten Qualität und somit auch von einem erhöhten Durchsatz.“

Vielfältige Einsatzgebiete

Die ABRX-Serie eignet sich besonders für hochpräzise Test- und Inspektionssysteme sowie Oberflächenmessanwendungen, einschließlich der Messung von Rundheit, Ebenheit, Formfehlern oder anderer Messgrößen der Profilometrie. Auch im Bereich der Medizintechnik wie bspw. bei Röntgen- oder CT-Inspektionsanwendungen oder generell bei Präzisionsfertigungssystemen kommen die Rotationstische zum Einsatz.

 

Die Vorteile der ABRX High-Performance Air-Bearing Stages im Überblick:

  • Die hochpräzise Positionsrückmeldung führt zu einer verbesserten Positionierungsleistung mit hoher Wiedergabetreue und Geschwindigkeitsstabilität.
  • Der speziell entwickelte Direktantrieb garantiert eine minimale Beeinflussung der Ablaufgenauigkeit.
  • Durch die erhöhte Belastbarkeit können Anwender selbst größere Nutzlasten mit äußerster Präzision bewegen.
  • Die branchenführende Bewegungsleistung bei axialen, radialen und Neigungsfehlern bietet Anwendern sämtliche Voraussetzungen, um schwierige Mess-, Inspektions- und Herstellungsprozesse zu bewältigen. Außerdem wird die Notwendigkeit von Nachbearbeitungen minimiert, was letztlich zu einer erhöhten Ausgabequalität und einem verbesserten Durchsatz führt.
  • Geeignet für die Montage mit horizontal oder vertikal ausgerichteter Drehachse, schafft der ABRX mehr Flexibilität bei der Prozessgestaltung und Maschinenintegration.


Website: https://www.aerotechgmbh.de/

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